高精度干式温度计量炉关键问题研究

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高精度干式温度计量炉关键问题研究
论文目录
 
摘要第1-6页
abstract第6-11页
第一章 绪论第11-19页
  1.1 研究工作的背景及意义第11页
  1.2 国内外研究现状第11-14页
    1.2.1 温度控制基本概念第11-12页
    1.2.2 温度计量技术的发展现状第12页
    1.2.3 干式炉温度控制技术发展现状第12-14页
  1.3 本文主要研究内容第14-17页
    1.3.1 研究工作中的关键问题第16页
    1.3.2 论文章节安排第16-17页
  1.4 本章小结第17-19页
第二章 温度控制原理第19-32页
  2.1 温度测量原理第19-21页
    2.1.1 温度传感器测温原理第19-20页
    2.1.2 温度传感器测量补偿方式第20-21页
  2.2 温度控制方式第21-28页
    2.2.1 热电制冷工作原理第22-24页
    2.2.2 半导体制冷器变工况特性分析第24-27页
    2.2.3 半导体制冷器与恒温插块热量交换分析第27-28页
  2.3 经典温度控制算法第28-30页
    2.3.1 PID控制算法第28-29页
    2.3.2 前馈控制算法第29-30页
  2.4 本章小结第30-32页
第三章 前馈-反馈复合控制模型第32-39页
  3.1 温度-电流双闭环控制算法第32-35页
    3.1.1 温度外环控制第32-33页
    3.1.2 电流内环控制第33-35页
  3.2 前馈补偿控制算法第35-36页
  3.3 前馈-反馈复合控制算法第36-37页
  3.4 本章小结第37-39页
第四章 高精度温度控制硬件电路设计第39-48页
  4.1 高精度温度控制电路分析第39-40页
  4.2 高精度温度控制电路总体硬件设计第40-41页
  4.3 大功率TEC驱动电路第41-43页
  4.4 温度测量电路第43-45页
  4.5 反馈电流测量电路第45-46页
  4.6 分段式控温电路第46-47页
  4.7 本章小结第47-48页
第五章 高精度温度控制实验与分析第48-60页
  5.1 常温温度控制实验第49-51页
  5.2 温度控制范围与控制精度实验第51-52页
  5.3 控温稳定度实验第52-53页
  5.4 系统负载能力试验第53-55页
  5.5 系统鲁棒性试验第55-56页
  5.6 温度轴向均匀性实验第56-58页
  5.7 高精度干式计量炉温度控制系统设计方案验证与分析第58-59页
  5.8 本章小结第59-60页
第六章 总结与展望第60-62页
参考文献第62-66页
附录1 温度采集电路原理图第66-67页
附录2 HIP4082 控制原理图第67-68页
附录3 H桥驱动电路原理图第68-70页
发表论文和科研情况说明第70-71页
致谢第71页

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