金刚石纳米抛光碳化硅的分子动力学数值模拟研究

硕士博士毕业论文站内搜索    
分类:教育论文网→工业技术论文→无线电电子学、电信技术论文半导体技术论文一般性问题论文半导体器件制造工艺及设备论文表面处理论文
金刚石纳米抛光碳化硅的分子动力学数值模拟研究
论文目录
 
摘要第1-5页
abstract第5-9页
第一章 绪论第9-15页
  1.1 课题来源第9页
  1.2 课题的研究背景及意义第9-10页
  1.3 碳化硅材料的发展现状第10-11页
    1.3.1 国外的发展现状第10-11页
    1.3.2 国内的发展现状第11页
  1.4 纳米抛光加工的研究现状第11-13页
  1.5 目前存在的不足第13-14页
  1.6 课题主要的研究内容第14-15页
第二章 纳米抛光碳化硅分子动力学建模第15-22页
  2.1 分子动力学基本理论第15-20页
    2.1.1 模拟系统势函数的选取第15-17页
    2.1.2 模拟系统系综的选择第17-18页
    2.1.3 经典牛顿运动方法求解第18-19页
    2.1.4 仿真模型边界条件的确定第19页
    2.1.5 时间步长的选择第19-20页
    2.1.6 配位数第20页
  2.2 碳化硅晶体结构第20-21页
  2.3 分子动力学处理软件第21页
  2.4 本章小结第21-22页
第三章 碳化硅纳米压力抛光超精密加工的分子动力学仿真与分析第22-37页
  3.1 引言第22页
  3.2 碳化硅抛光仿真模型建立第22-24页
  3.3 不同抛光压力仿真结果分析第24-29页
    3.3.1 系统势能分析第24-25页
    3.3.2 工件温度分析第25页
    3.3.3 压力对材料去除量的影响第25-29页
  3.4 不同抛光压力对碳化硅相变结果的分析第29-35页
    3.4.1 碳化硅相变原子的定性分析第29-32页
    3.4.2 碳化硅相变原子的定量分析第32-35页
  3.5 本章小结第35-37页
第四章 金刚石纳米旋转抛光碳化硅的分子动力学仿真与分析第37-58页
  4.1 引言第37页
  4.2 不同转矩对碳化硅抛光加工过程的影响第37-46页
    4.2.1 碳化硅仿真模型的建立第37-38页
    4.2.2 碳化硅工件加工过程的影响第38-40页
    4.2.3 抛光力的分析第40-42页
    4.2.4 相变机制的分析第42-45页
    4.2.5 相变深度的分析第45-46页
  4.3 不同抛光深度对纳米碳化硅抛光过程的影响第46-56页
    4.3.1 碳化硅仿真模型的建立第46-47页
    4.3.2 抛光模式的分析第47-49页
    4.3.3 抛光力的分析第49-51页
    4.3.4 相变机制的分析第51-53页
    4.3.5 损伤机制的分析第53-56页
  4.4 本章小结第56-58页
第五章 结论与展望第58-60页
  5.1 结论第58页
  5.2 展望第58-60页
参考文献第60-65页
发表论文和科研情况说明第65-66页
致谢第66页

本篇论文共66页,点击这进入下载页面
 
更多相关论文
金刚石纳米抛光碳化硅的分子动力学
紧凑型HCN双色激光器的研制及其稳定
高精度干式温度计量炉关键问题研究
基于单目视觉的静态手势识别研究及
基于背景建模的运动目标检测方法研
基于光流跟踪和特征匹配的视觉里程
基于KCF的目标跟踪算法研究及嵌入式
基于卷积神经网络的图像识别方法研
适用于集群通信的高温超导滤波器设
光谱测量数据去噪与存储方法研究
基于调制脉冲作用的光子回波特性研
NiCo_2O_4/Ni多级复合超疏水结构的
大功率IGBT模块宽频等效电路模型研
外骨骼手部康复机器人训练系统设计
基于ROS视觉定位的机器人智能抓取系
基于自抗扰的低温恒温槽黑体温控系
压缩载荷下全膝关节软骨缺损和修复
基于ROS系统的移动机器人室内定位方
加热炉能效在线评估及设备管理系统
基于Fuzzy-PID的黑体源温控系统的研
基于CAN总线的大功率柴油机监控系统
复杂环境下农业机器人路径规划方法
智能电网中多代理协调控制策略的研
微创血管介入手术机器人操作安全性
光伏清洁机器人的设计与实现
栏 目 导 航
 
 
碳化硅 超精密抛光 相变 亚表面损伤 分子动力学
版权申明:目录由用户提供,www.51papers.com仅收录目录,作者需要删除这篇论文目录请点击这里
| 设为首页||加入收藏||站内搜索引擎||站点地图||在线购卡|
版权所有 教育论文网 Copyright(C) All Rights Reserved